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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Lasergestützte Bogenbeschichtung -Laser-Arc-
 
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1992
Book Article
Title

Lasergestützte Bogenbeschichtung -Laser-Arc-

Other Title
Laser-assisted arc coating -laser-arc-
Abstract
Der Beitrag stellt die Methode der lasergestützten Bogenverdampfung (LASER-ARC) vor, eines neuen physikalischen Beschichtungsverfahrens. Das LASER-ARC-Verfahren ist geeignet, ein breites Spektrum von Spezialschichten, wie unter anderem Multischichtsysteme mit frei wählbaren Einzelschichtdicken und diamantähnliche Schichten mit hoher Effektivität und geringem Aufwand herzustellen. Der besondere Vorteil des hier beschriebenen Verfahrens liegt in der leichten Steuerbarkeit der Entladung, so daß auch kompliziertere Schichtsyteme präzise, reproduzierbar und mit hoher Rate hergestellt werden können.
Author(s)
Siemroth, P.
Scheibe, H.J.
Mainwork
Jahrbuch Oberflächentechnik. Bd.48  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS  
Keyword(s)
  • diamantähnliche Kohlenstoffschicht

  • DLC-film

  • Laser-Arc

  • laser-induced film deposition

  • laser-induced vacuum arc

  • laserinduzierte Schichtabscheidung

  • laserinduziertes Vakuum

  • LPVD

  • PVD-Technik

  • PVD-technique

  • vacuum arc evaporation

  • Vakuumbogenverdampfung

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