Laseranwendungen in Sensorik und Mikrosystemtechnik

Die in den letzten Jahren stärker werdende Miniaturisierung industrieller Produkte erfordert Fertigungsverfahren, die den dabei gestiegenen Anforderungen gerecht werden. Dies gilt nicht nur für die Mikroelektronik, bei der mit der Entwicklung von Gbit-Speicherelementen Strukturgrößen von 0,25 Mikron benötigt werden. Auch in der Sensorik werden Strukturen im Mikron-Bereich benötigt, um die Forderungen, z. B. aus der Automobilindustrie, nach immer kleineren und leichteren Sensoren erfüllen zu können. Eine im Vergleich hierzu noch größere Integrationsdichte verlangt die Mikrosystemtechnik, bei der elektronische, optische, mechanische und vielfach auch fluidische Komponenten zu einem Gesamtsystem vereinigt werden und das als Sensor, Aktor und Übertragungsglied in vielfältiger Weise fungieren kann.