Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Laser-Sputtern von Mehrlagen-Metallschichten für eine verbesserte Kontakt- und Metallisierungstechnologie

 

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik -GME-:
Mikroelektronik '91
Berlin: VDE-Verlag, 1991 (GME-Fachbericht 8)
ISBN: 3-8007-1624-0
VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik (Fachtagung) <1991, Baden-Baden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-21601.html