Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Laser-recrystallized polycristalline silicon resistors for integrated circuits application

 
: Schaber, H.; Cutter, D.; Obermeier, E.; Binder, J.

Journal of applied physics 54 (1983), pp.4633-4640 : Abb.,Lit.
ISSN: 0021-8979
ISSN: 1089-7550
English
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
integration; Laserannealing; Polysilizium; Rekristallisation

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-21597.html