Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Laser-recrystallized polycristalline silicon resistors for integrated circuits application

: Schaber, H.; Cutter, D.; Obermeier, E.; Binder, J.

	Journal of applied physics 54 (1983), pp.4633-4640 : Abb.,Lit. ISSN: 0021-8979 ISSN: 1089-7550

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	Journal Article
	Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
	integration; Laserannealing; Polysilizium; Rekristallisation