Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Kontrolle von Oxidations- und Abscheideprozessen in einem Vertikalofen durch in situ-Spektralellipsometrie

 
: Berger, R.; Lehnert, W.

Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie -IIS-B-, Erlangen:
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1995
Erlangen, 1996
pp.31-33
German
Book Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-20851.html