Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Keramikschichten auf metallischen Substraten

 
: Sung, H.; Pfleging, W.; Voss, A.; Kreutz, E.W.; Erkens, G.

Dünne Schichten (1992), No.4, pp.16-21 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0941-7168
German
Journal Article
Fraunhofer ILT ()
Hochvakuumkammer; Keramikscheibe; Mehrlagenschicht; Pulslängen; Schichtverunreinigung; Substrat; target

Abstract
Bei dem PlD (Pulsed Laser Deposition)-Verfahren wird Targetmaterial durch Laserstrahlung abgetragen und auf einem Substrat deponiert. Die Vielseitigkeit des Verfahrens eröffnet ein breites Anwendungspotential, das von den bereits bekannten optischen und elektrischen Schichten bis zu tribilogischen Schutzschichten reicht. Es werden Beispiele für Keramiken als Mono-, Gradienten- oder Mehrlagenschicht gezeigt, die mit unterschiedlichen Laser- und Verfahrensparametern hergestellt wurden. Die Schichten wurden hinsichtlich ihrer Struktur und Topologie sowie mechanisch-technischer Eigenschaften untersucht. Durch Variation der Laser- und Verfahrensparameter lassen sich Schichten unterschiedlicher Struktur herstellen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-20399.html