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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Kalibrierung von Streulichtpartikelzählern
 
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1990
Conference Paper
Title

Kalibrierung von Streulichtpartikelzählern

Other Title
Calibration of optical particle counters
Abstract
Streulichtpartikelmeßgeräte für Gase und Flüssigkeiten sind aus dem weitreichenden Bereich der Versorgung mit reinen Medien nicht mehr wegzudenken. Die Messung von Submikronpartikeln in strömenden Medien nach dem Streulichtprinzip ist jedoch nicht ganz unproblematisch. Die Summe der physikalischen Phänomene bei der Lichtstreuung machen ihre Ausnutzung zur Bestimmung von Partikelgröße und -konzentration zu einer komplexen Aufgabe. Im Hinblick auf die geforderte Vergleichbarkeit von Messungen spielt besonders die (regelmäßige) Kalibrierung dieser Geräte mit Latexpartikeln monodisperser Verteilung (Meßstandards) eine wichtige Rolle. Die Charakterisierung der Zähleigenschaften wie Klassifizierungsgenauigkeit, Zählwirkungsgrad etc. unter Verwendung handelsüblicher Latexpräparate muß durch eine zuverlässige Vergleichsmeßmethode gesichert sein. Als einzige Methode kommt hierfür die Messung mit Mikroskop und Membranfilter in Betracht, bei der ein repräsentativer Teil der Kalibrierteilchen auf einer glatten Filterscheibe zurückgehalten und anschließend ausgezählt und ausgemessen wird. Aufgrund der statistischen Sicherheit wächst der Aufwand für Größen unterhalb 0,2 fm. Die mittlere Anzahlkonzentration der Kalibrierteilchen kann rasterelektronenmikroskopisch mit hinreichender Genauigkeit bestimmt und reproduziert werden.
Author(s)
Ernst, C.
Mainwork
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990  
Conference
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) Oktober1990  
Meßtechnisches Praktikum Oktober1990  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • calibration

  • Counting efficiency

  • evaluation

  • Impulshöhenverteilung

  • Kalibrieren

  • Latexpartikel

  • Latices

  • Pulse hight distribution

  • Reference measurement

  • REM-Auszählmethode

  • scattering light

  • SEM Counting method

  • Streulicht

  • Überprüfung

  • Vergleichsmessung

  • Zählwirkungsgrad

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