Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Ion implantation for very large scale integration.

Ionen-Implantation fuer die Hoechstintegration
 
: Ryssel, H.

Advances in Electronics and Electron Physics 58 (1982), pp.191-261 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0065-2539
English
Book Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Dotierungsprofil; Höchstintegration; Ionenstrahl; Temperung

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-20068.html