Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Ion Implantation.

State of the Art and Prospects.
Ionen-Implantation
 
: Ryssel, H.

Large scale integrated circuits technology
The Hague: Nijhoff Publishers, 1982
67 pp. : Abb.
English
Book Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Ausheilung; Dotierung; Ionen-Implantation

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-20067.html