Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Ion beam exposure of resists.

Ionenstrahlbelichtung von Fotolacken
 

Applied physics. A (1982), No.A27, pp.239-241 : Abb.,Lit.
ISSN: 0340-3793
ISSN: 0721-7250
ISSN: 0947-8396
English
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Fotolack; Fotomaske; Ionenstrahl

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-20050.html