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Interferometrische Wegmessung mit automatischer Kompensation von Brechzahlschwankungen
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1990
Journal Article
Titel
Interferometrische Wegmessung mit automatischer Kompensation von Brechzahlschwankungen
Author(s)
Höfler, H.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Kulmus, K.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Molnar, J.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Schröder, C.
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM
Zeitschrift
FhG-Berichte
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM