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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis
 
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1993
Conference Paper
Title

Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis

Abstract
Sensorsysteme auf Siliziumbasis befinden sich in einem unterschiedlichen Entwicklungsstadium. Mikrosysteme, die rein auf mikroelektronischen Komponenten basieren, werden schon jetzt industriell eingesetzt. Systeme mit Sensor- oder Aktorkomponenten, hybrid oder monolithisch integriert, stehen unmittelbar vor der Produkteinführung. Dieser Beitrag möchte an verschiedenen Beispielen Sensorsysteme für unterschiedliche Anwendungen vorstellen.
Author(s)
Mokwa, W.
Mainwork
Klein, Mini, Mikro, Sensorik im Wandel. 7. IAR Kolloquium  
Conference
Deutsch-Französisches Institut für Automation und Robotik (Kolloquium) 1993  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Keyword(s)
  • microelectronics

  • micromechanics

  • microsystem

  • Mikroelektronik

  • Mikromechanik

  • Mikrosystemtechnik

  • monolithische Integration

  • Sensorik

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