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Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis

	Deutsch-Französisches Institut für Automation und Robotik -IAR-, Teilinstitut Duisburg: Klein, Mini, Mikro, Sensorik im Wandel. 7. IAR Kolloquium Duisburg, 1993 pp.25-75
	Deutsch-Französisches Institut für Automation und Robotik (Kolloquium) <7, 1993, Duisburg>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IMS ()
	microelectronics; micromechanics; microsystem; Mikroelektronik; Mikromechanik; Mikrosystemtechnik; monolithische Integration; Sensorik

Abstract
Sensorsysteme auf Siliziumbasis befinden sich in einem unterschiedlichen Entwicklungsstadium. Mikrosysteme, die rein auf mikroelektronischen Komponenten basieren, werden schon jetzt industriell eingesetzt. Systeme mit Sensor- oder Aktorkomponenten, hybrid oder monolithisch integriert, stehen unmittelbar vor der Produkteinführung. Dieser Beitrag möchte an verschiedenen Beispielen Sensorsysteme für unterschiedliche Anwendungen vorstellen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-19534.html