Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Intelligente Sensoren mit integrierter Ausleseelektronik

 
: Bollerott, M.; Machul, O.

Elektronik Industrie 29 (1998), No.4, pp.58-62
ISSN: 0174-5522
ISSN: 0341-0277
ISSN: 0374-3144
German
Journal Article
Fraunhofer IMS ()
analoge integrierte Schaltung; CMOS-Schaltung; Drucksensor; Kalibrieren; Meßaufnehmer; Temperaturgang

Abstract
Das Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme (IMS) in Duisburg/Dresden mit mehr als 250 Mitarbeitern bietet eine breite Palette von mikromechanischen Sensoren und verschiedene Sensorausleseschaltungen an. Eines der wesentlichen Merkmale dieser Sensoren mit integrierter Ausleselektronik ist die Fertigung auf einem Chip in einem Standard-Silizium-CMOS-Prozeß, der nur durch einige wenige Zusatzprozeßschritte ergänzt wird. Mit den im Fraunhofer IMS verwendeten CMOS-Prozessen werden auch ASICs für verschiedenste Industriekunden in kleinen bis mittleren Stückzahlen gefertigt. Dieses System-on-Chip-Design führt zu kleinsten Abmessungen, einem höchsten Maß an Zuverlässigkeit und einem guten Preis-Leistungsverhältnis.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-19530.html