Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Integriertes Mehrkammerprozeßsystem IVPS

 
: Schneider, C.

Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie -IIS-B-, Erlangen:
Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1995
Erlangen, 1996
pp.33-37
German
Book Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-19469.html