Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Integration von Sensoren mit VLSI-Technologie.

Parallelausgabe: Publications 1985. IMS-Duisburg.
Integration of sensors using VLSI technologies
 
: Hosticka, B.J.; Zimmer, G.

Robotersysteme (1986), No.2, pp.17-26 : Abb.,Lit.
ISSN: 0178-0026
German
Journal Article
Fraunhofer IMS ()
integration; sensor; VLSI-Technologie

Abstract
Dieser Beitrag befasst sich mit Integration von Sensoren in VLSI-Technologie, wobei im besonderen diejenigen Sensoren beruecksichtigt werden, die in der Robotik Verwendung finden. In der modernen Sensorik wird allerdings danach getrachtet, nicht nur den Sensor bereitzustellen, sondern gleich die Sensorsignalverarbeitung vor Ort vorzunehmen - am besten auf einem Chip. Im vorliegenden Aufsatz wird auch diese Moeglichkeit behandelt, wobei das Silizium als Chipbasismaterial betrachtet wird. (IMS)

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-19309.html