Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Integrated vapor-phase cleaning and pure NO nitridation for gate stack formation

: Glowacki, F.; Froeschle, B.; Deutschmann, L.; Sagnes, I.; Laviale, D.; Bensahel, D.; Galimaoui, A.; Martin, F.; Bauer, A.J.

Riley, T.J.; Gelpey, J.C.; Roozeboom, F.; Saito, S.:
Rapid thermal and integrated processing VI
Pittsburgh: MRS, 1997 (Materials Research Society symposia proceedings 470)
ISBN: 1-55899-374-6
Materials Research Society (Symposium) <1997, San Francisco/Calif.>
Conference Paper
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()