Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Inbetriebnahme von Reinräumen

 
: Kahlden, T. von

HLH. Heizung, Lüftung/Klima, Haustechnik 43 (1992), No.9, pp.495-499
ISSN: 0017-9906
ISSN: 1436-5103
ISSN: 1434-422X
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Abnahmemessung; Außenluftanlage; Auslegung; Biotechnologie; Entsorgung; Gentechnik; Klimatechnik; Messen; Mikroelektronik; Mikromechanik; Reinraum; Umluftanlage; VDI Richtlinie 2083; Versorgungstechnik

Abstract
Die Entwicklung der Mikromechanik und Mikroelektronik sowie die Neuerungen auf dem Gebiet der Gen- und Bioverfahrenstechnik erfordern die Ausweitung des Einsatzes von Reinräumen. Diese werden unabhängig von ihrem Einsatzgebiet in verschiedensten Größen, was die Fläche betrifft, erstellt. Das Spektrum reicht von der sogenannten LF-Box bis zum Großreinraum mit einigen tausend Quadratmetern. In Abhängigkeit der flächenmäßigen Ausdehnung ist eine Peripherie für den Reinraum in Form von Umluft- und Außenluftanlagen sowie der gesamten Ver- und Entsorgungstechnik notwendig. Allen Reinraumanlagen ist gemein, daß sie in Betrieb genommen und zum Nachweis der spezifizierten Qualität Abnahmemessungen durchgeführt werden müssen. Im ersten Teil dieses Beitrages wird auf Punkte der Inbetriebnahme eingegangen. Es werden Einflußfaktoren diskutiert, die dazu führen, daß manche Anlagen nicht nach dem Stand der Technik in Betrieb genommen werden. Im zweiten Teil des Beitrages wird auf die Vorgehensweise d er Abnahmemessungen eingegangen. Die Art der durchzuführende Abnahmemessungen orientiert sich an der neu überarbeiteten VDI-Richtlinie 2083, Blatt 3. Eine ausführliche Diskussion zu den verwendeten Geräten erscheint in einem Beitrag im März 1993 in dieser Zeitschrift.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-18123.html