Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

In situ particle monitoring for vacuum applications

 
: Trunk, R.; Ramin, M.

Ryssel, H.; Pfitzner, L.; Trunk, R.:
Productronica 97. Proceedings HLF. Semiconductor equipment and materials contamination control and defect reduction
Stuttgart: Fraunhofer IRB Verlag, 1998
ISBN: 3-8167-5181-4
ISBN: 978-3-8167-5181-6
pp.52
Productronica, Internationale Fachmesse der Elektronik-Fertigung <12, 1997, München>
English
Conference Paper
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-18091.html