Publica

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In-situ-Monitorierung und Regelung mittels Analysen der optischen Plasmaesission. Einzelvorhaben

	Aul, R. ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf; Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie -BMBF-, Bonn: Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995 Düsseldorf: VDI Technologiezentrum, 1995
	Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien <1995, Mainz>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer FEP ()