Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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In-situ-Monitorierung und Regelung mittels Analysen der optischen Plasmaesission. Einzelvorhaben

 
: Kirchhoff, V.; Schulze, M.

Aul, R. ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf; Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie -BMBF-, Bonn:
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995
Düsseldorf: VDI Technologiezentrum, 1995
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien <1995, Mainz>
German
Conference Paper
Fraunhofer FEP ()