
Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. In-situ-Monitorierung und Regelung mittels Analysen der optischen Plasmaesission. Einzelvorhaben
| Aul, R. ; VDI-Technologiezentrum Physikalische Technologien, Düsseldorf; Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie -BMBF-, Bonn: Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995 Düsseldorf: VDI Technologiezentrum, 1995 |
| Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien <1995, Mainz> |
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| German |
| Conference Paper |
| Fraunhofer FEP () |