Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Implantation doping of germanium with Be, Mg, Zn und B-ions

 
: Metzger, M.; Zhang, Z.; Schmiedt, B.; Ryssel, H.

Ryssel, H.; Glawischnig, H.:
Ion implantation. Equipment and techniques
Berlin; Berlin/West: Springer, 1983 (Springer series in electrophysics 11)
pp.458-464 : Abb.,Tab.,Lit.
English
Book Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Dotierung; implantation; integration; Ionenstrahl

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-17908.html