Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Implantation and diffusion models for process simulation

 
: Ryssel, H.; Prinke, G.; Hoffmann, K.

DeMeyer, K.M.:
VLSI Process and Device Modeling. Vol.1
Leuven, 1983
English
Book Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
diffusion; implantation; modeling

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-17907.html