Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Hydrogen content and mechanical stress in glow discharge amorphous silicon

 
: Paduschek, P.; Eichinger, P.; Kristen, G.; Mitlehner, H.

Nuclear instruments and methods in physics research 199 (1982), pp.421-425 : Abb.,Lit.
ISSN: 0029-554X
English
Journal Article
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Amorphes Silizium; stress; Wasserstoffprofil

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-17628.html