Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Hydrogen content and mechanical stress in glow discharge amorphous silicon

Wasserstoffkonzentration und mechanische Spannung in amorphem Plasmasilizium
 
: Paduschek, P.; Eichinger, P.; Kristen, G.; Mitlehner, H.

International Conference on Amorphous Systems Investigated by Nuclear Methods '81. Proceedings
1981
pp.1007-1018 : Abb.,Lit.
International Conference on Amorphous Systems Investigated by Nuclear Methods <1981, Balatonfüred>
English
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Plasmaabscheidung; Plasmaentladung; Silizium; Wasserstoffgehalt

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-17627.html