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1991
Journal Article
Title
Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen
Abstract
Im Vergleich zu anderen Fertigungs-Branchen weist die Automatisierung in der Chip-Produktion heute immer noch ein hohes Entwicklungspotential auf. Immer kürzere Innovationszyklen hemmen eher die Automatisierungsaktivitäten im Reinraum. Das größte Problem liegt dabei in der Kommunikation einer Vielzahl unterschiedlicher Fertigungsgeräte, die momentan auf dem Markt angeboten werden. Forschungsinstitute suchen nach neuen und standardisierten Lösungsansätzen.