Fraunhofer-Gesellschaft

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Hochauflösende Topometrie im Kontext globaler Makrostrukturen

High Resolution Topometry in Conjunction with Macro Structures
 

Technisches Messen : TM 66 (1999), No.11, pp.437-446
ISSN: 0340-837X
ISSN: 0178-2312
ISSN: 0171-8096
German
Journal Article
Fraunhofer IOF ()
AFM; Oberfläche; PSD; Rauheit; Streulicht; WeiBlichtinterferometer

Abstract
Eine Vielzahl technischer Anwendungen erfordert die Messung und Charakterisierung von Oberflaechenrauhigkeiten in einem grossen Ortsfrequenzbereich, wozu die Kombination verschiedener Messverfahren durch das Zusammenfuegen der Leistungsspektraldichtefunktionen (Power Spectral Density - PSD) notwendig ist. Hierzu wird die Weisslichtinterferometrie (WLI) mit der Rasterkraftmikroskopie (AFM) anhand eines strukturierten Gitters verglichen. Es zeigt sich eine gute Uebereinstimmung der Profile und der PSD. Weiterhin werden rauhe und strukturierte technische Oberflaechen und teilweise deren dynamische Veraenderungen (Korrosion, Beschichtung) mittels WLI, AFM und Streulichtuntersuchungen vermessen und die Ergebnisse mit Hilfe der PSD kombiniert, die somit einen Ortsfrequenzbereich von 5 Groessenordnungen umfasst. In einigen Faellen erzielt nur die kombinierte PSD die richtige modellmaessige Beschreibung der Oberflaeche. A variety of technical applications requires surface roughnesses to be mea sured and characterised over a wide range of scale. In order to meet these requirements it is inevitable to combine different measurement techniques by using an assembled PSD (power spectral density). First of all, a good correspondence of the profiles and PSDs of the AFM and WLI is shown by measuring a binary grating. Then, rough and structured technical surfaces and some of their dynamic changes are measured by WLI, AFNI, and scattered light measurements and are combined by means of the PSD in a wide range of scale covering up to 5 orders of magnitude.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-17264.html