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Hochauflösende Materialcharakterisierung mit mikroskopischen Techniken

 

Deutsche Gesellschaft für Zerstörungsfreie Prüfung e.V. -DGZfP-, Berlin; Deutscher Verband für Materialforschung und -prüfung e.V. -DVM-, Berlin:
Seminar Zerstörungsfreie Materialcharakterisierung 1996. Vorträge und Plakatbeiträge
1996 (DGZfP-Berichtsbände 54)
ISBN: 3-931381-09-9
pp.101-108
Seminar Zerstörungsfreie Materialcharakterisierung <1996, Jena>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZFP ()
acoustic microscopy; akustische Mikroskopie; Barkhausen microscopy; Barkhausen-Mikroskopie; high-frequency ultrasound; Hochfrequenzultraschall; Materialcharakterisierung; materials characterization; micro computer tomography; Mikrocomputertomographie; Rasterkraftmikroskopie; Wirbelstrom

Abstract
Mikroskopische Techniken sind ein geeignetes Mittel zur hochauflösenden Materialcharakterisierung, wie sie in der Werkstoffentwicklung und im speziellen in der Mikrosystem- sowie Datenspeichertechnik gefordert wird. Zur Entwicklung neuer Werkstoffe ist die Kenntnis lokaler Gefüge- und Eigenspannungszustände von entscheidender Bedeutung. Eine hochauflösende Materialcharakterisierung wird auch in dünnen Schichten, die für den Einsatz in digitalen Aufzeichnungssystemen in Frage kommen, gefordert. Ein wichtiger Aspekt ist neben der Bestimmung der mechanischen Eigenschaften von Mikrosystemen auch die Bestimmung ihrer elektrischen Eigenschaften. Prüfverfahren, die eine hochortsaufgelöste elektrische Funktionsanalyse erlauben, sind somit von größter Bedeutung für die Mikrosystemtechnik. In unserem Hause verfügen wir über eine Reihe hochauflösender bzw. mikroskopischer zerstörungsfreier Techniken, wie z.B. die Wärmewellenmikroskopie, die akustische Mikroskopie, die Hochfrequenzultraschall, die Barkhausenmikroskopie, die Wirbelstrommikroskopie, die Mikrocomputertomographie sowie die Rasterkraftmikroskopie.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-17259.html