Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Die Herstellung von Antireflexionsschichten unter Nutzung des Puls-Magnetron-Sputterns

 
: Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.

Schiller, S.; Arnold, A.; Wünsche, M. ; Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik -FEP-, Dresden:
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Jahresbericht 1996
Dresden: FEP, 1997
pp.31-37 : Ill., Lit.
German
Book Article
Fraunhofer FEP ()
Antireflexionsschicht; Puls-Magnetron-Sputtern

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-16948.html