English
Deutsch
Log In
Log in with Fraunhofer Smartcard
Password Login
Research Outputs
Fundings & Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Patente
Halbleiter- oder hybridtechnologiebasierte Messanordnung mit spezieller Impedanzanordnung
Details
Export
Statistics
Options
Show all metadata (technical view)
Patent
Title
Halbleiter- oder hybridtechnologiebasierte Messanordnung mit spezieller Impedanzanordnung
Inventor(s)
Faul, R.
Folkmer, B.
Hemmetzberger, J.D.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19619686A
Patent Number
1996-19615381
Publication Date
1997
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM