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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Halbleiter- oder hybridtechnologiebasierte Messanordnung mit spezieller Impedanzanordnung
 
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Options
Patent
Title

Halbleiter- oder hybridtechnologiebasierte Messanordnung mit spezieller Impedanzanordnung

Inventor(s)
Faul, R.
Folkmer, B.
Hemmetzberger, J.D.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=19619686A
Patent Number
1996-19615381
Publication Date
1997
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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