• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Konferenzschrift
  4. Grundlagen der Streulichtpartikelmeßtechnik
 
  • Details
  • Full
Options
1991
Conference Paper
Title

Grundlagen der Streulichtpartikelmeßtechnik

Abstract
Für verschiedene Anwendungen im Bereich der Partikelmessung in strömenden Reinstmedien gibt es Geräte unterschiedlichster Ausführungen. Abweichungen bei Messungen mit verschiedenen Geräten können einerseits mit der Streulichttheorie erklärt und andererseits auf die Art der technischen Ausführung zurückgeführt werden. Die Präzision der Partikelmessung ist neben den technischen Eigenschaften abhängig von der Kalibrierung eines Partikelzählers, die üblicherweise unter Verwendung von Latexpartikeln als Standardmaterial erfolgt. Bei der Messung natürlicher partikulärer Kontaminationen können aufgrund der optischen Verhältnisse besonders in Flüssigkeiten Fehler bei der Zählung und Größenklassifizierung auftreten. Voraussetzung für einen hinreichenden Meßbetrieb ist die regelmäßige Kalibrierung und Überprüfung der Partikelzähler. Die Verfügbarkeit hochwertiger Kalibrierteilchen ist eingeschränkt. Die Verfahren zur Überprüfung und Kalibrierung müssen vereinheitlicht und praktikabel ausgeführt werden.
Author(s)
Ernst, C.
Mainwork
Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991  
Conference
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) 1991  
Meßtechnisches Praktikum 1991  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • aerosol

  • calibration

  • Flüssigkeit

  • gas

  • Hydrosol

  • Kalibrieren

  • Latex

  • Latice

  • light scattering

  • liquid

  • Messen

  • particle counter

  • particle measurement

  • Partikelmessung

  • Partikelzähler

  • Rasterelektronenmikroskop

  • Scanning Electron microscope

  • scanning electron microscopy

  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024