Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

The growth of buried silicon nitride formed by nitrogen implantation

 
: Beltz, J.; Vogt, H.; Kaat, E.H. te; Zimmer, G.

E-MRS Meeting 1986. Proceedings
1986
pp.121-122 : Abb.,Lit.
European Materials Research Society (Meeting) <1986, Strasbourg>
English
Conference Paper
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-16452.html