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Großflächen-Vorbehandlung für die physikalische Dampfabscheidung (PVD)
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1996
Book Article
Title
Großflächen-Vorbehandlung für die physikalische Dampfabscheidung (PVD)
Author(s)
Schiller, S.
Goedicke, K.
Milde, F.
Hötzsch, G.
Mainwork
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Jahresbericht 1995
Language
German
Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP
Keyword(s)
interfacial layer processing
