Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Gleichzeitiges Bestimmen von Schichtdicke und Substrattemperatur während des Beschichtens

 
: Bauer, N.; Boebel, F.G.

:
Frontpage ()

DE 1993-4318520 A: 19930603
EP 1994-906879 AW: 19940216
WO 1994-DE20 A: 19940111
WO 1994-DE168 A: 19940216
EP 701686 B1: 19981118
G01J0005
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IIS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-16207.html