Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Gassensitive MOS-Feldeffekttransistoren mit Gate-Beschichtung aus Ormosil

 
: Obermeier, E.; Kaas, K.-H.; Drost, S.; Endres, H.-E.; Hutter, F.; Schmidt, H.

Henning, W. ; Nachrichtentechnische Gesellschaft -NTG-:
Sensoren - Technologie und Anwendung : Vorträge d. 3. Fachtagung vom 17. bis 19. März 1986 in Bad Nauheim
Berlin: VDE Verlag, 1986 (NTG-Fachberichte 93)
ISBN: 3-8007-1457-4
pp.60 : Abb.,Lit.
Fachtagung Sensoren, Technologie und Anwendung <3, 1986, Bad Nauheim>
German
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
Gate-Beschichtung; MOS-Feldeffekttransistor(gassensitiv); Ormosil

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-15770.html