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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Gassensitive layers based on modified silicates
 
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1987
Conference Paper
Title

Gassensitive layers based on modified silicates

Abstract
Organisch modifizierte Silicate, die durch Hydrolyse und Kondensation von Alkoxysilanen ueber den Sol-Gel-Prozess hergestellt werden, koennen als gasempfindliche Materialien zur Entwicklung von Gassensoren eingesetzt werden. Diese Materialien aendern in Abhaengigkeit von der adsorbierten Gasmenge ihre elektrischen Eigenschaften (Dielektrizitaetskonstante, Leitfaehigkeit), wie durch Messungen an duennen Schichten auf Interdigitalkondensatoren festgestellt wurde. Durch Variation von funktionellen Gruppen, die als Adsorptionszentren dienen, koennen Selektivitaet und Sensitivitaet beeinflusst werden. (ISC)
Author(s)
Haas, K.H.
Schmidt, H.
Hutter, F.
Mainwork
Proceedings of EXPERMAT '87. An International Conference on Materials with Exceptional Properties  
Conference
EXPERMAT 1987  
Language
English
Fraunhofer-Institut für Silicatforschung ISC  
Keyword(s)
  • gassensor

  • Schicht(dünn)

  • Silicat(organisch modifiziert)

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