Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Galvanoplating and sacrificial layers for surface micromachining

 
: Maciossek, A.; Löchel, B.; Wagner, B.; Schulze, W.; Noetzel, J.; Quenzer, H.J.

:

Microelectronic engineering 27 (1995), pp.503-508
ISSN: 0167-9317
International Conference on Micro- and Nano-Engineering <1994, Davos>
English
Conference Paper
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-15663.html