Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Formation and contact properties of titanium-silicided shallow junctions

 
: Dehm, C.; Gyulai, J.; Ryssel, H.

:

Applied surface science 53 (1991), pp.313-320
ISSN: 0169-4332
European Workshop on Refractory Metals and Silicides <1991, Saltsjobaden>
English
Conference Paper
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-14985.html