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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Flexibles fotolithographisches Prozeßzentrum
 
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1989
Journal Article
Title

Flexibles fotolithographisches Prozeßzentrum

Abstract
Die extrem hohen Anforderungen bei der Fertigung hochintegrierter Schaltkreise z.B. an Qualität, Ausbeute der Bauelemente und die Reproduzierbarkeit von Fertigungsvorgängen können, falls der Trend hin zu kleineren Strukturen weiter anhält, in Zukunft nicht mehr mit herkömmlichen, labormäßigen Fertigungsmethoden erfüllt werden. Um höhere Produktqualität und Wirtschaftlichkeit zu erreichen, müssen automatisierungsgestützte Fertigungsmethoden angewandt werden.
Author(s)
Warnecke, H.-J.
Frühauf, W.
Mann, R.
Olbrich, W.
Schmutz, W.
Journal
Productronic  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Fertigung

  • Flexibles Prozeßzentrum

  • modul

  • modul 6000

  • modulsystem

  • Prozeßmodul

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