Fraunhofer-Gesellschaft

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Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert

 

Reinraumtechnik 4 (1990), No.5, pp.12,14-15
ISSN: 0931-9190
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; FFP; Flexibilität; Flexibles Fotolithographisches Prozeßzentrum; Fotolithographie; Halbleiter; Medien; Medienentsorgung; Medienversorgung; Reinraum

Abstract
Die Fertigung hochintegrierter Halbleiterbauelemente stellt inzwischen höchste Anforderungen an die notwendigen Medienver- und entsorgungssysteme. Vor allem dieser komplexe und sensible Fertigungsbereich verlangt nach neuen Systemlösungen. Um unter ausreichender Berücksichtigung des Sicherheits- und Umweltaspekts höhere Produktqualität und Wirtschaftlichkeit zu erreichen, wurde im Rahmen der Entwicklung eines neuartigen flexiblen Halbleiterfertigungszentrums für den Lithographiebereich auch die Medienver- und -entsorgung neu konzipiert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-14678.html