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1990
Journal Article
Titel
Flexibel Medien ver- und entsorgen
Abstract
Das vorgestellte Medienver- und -entsorgungssystem stellt im Bereich der Halbleiterfertigung ein völlig neues, zukunftsorientiertes Konzept dar. Durch den streng modularen Aufbau des Gesamtsystems und der Systemkomponenten wird eine hohe Flexibilität bei schrittweiser Einführbarkeit erreicht. Dieses Systemkonzept setzt neue Maßstäbe für die Ver- und Entsorgung künftiger Reinraumfertigungsbereiche.