Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Flexibel Medien ver- und entsorgen

 

Productronic (1990), No.6, pp.72-74
ISSN: 0930-1100
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Flexibilität; Halbleiter; Medien; Medienentsorgung; Medienversorgung; Reinraum

Abstract
Das vorgestellte Medienver- und -entsorgungssystem stellt im Bereich der Halbleiterfertigung ein völlig neues, zukunftsorientiertes Konzept dar. Durch den streng modularen Aufbau des Gesamtsystems und der Systemkomponenten wird eine hohe Flexibilität bei schrittweiser Einführbarkeit erreicht. Dieses Systemkonzept setzt neue Maßstäbe für die Ver- und Entsorgung künftiger Reinraumfertigungsbereiche.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-14522.html