English
Deutsch
Log In
Log in with Fraunhofer Smartcard
Password Login
Research Outputs
Fundings & Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Konferenzschrift
Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Details
Full
Export
Statistics
Options
Show all metadata (technical view)
1996
Conference Paper
Title
Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Author(s)
Grimme, R.
Mainwork
Reine Technologien - Aktuelle Fragen der Reinraumtechnik
Conference
Tagung Reine Technologien - aktuelle Fragen der Reinraumtechnik 1996
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA
Keyword(s)
Fertigung
Fertigungskonzept
MikroFab
Mikrofabrikationstechnik
Mikrosystem
Mikrosystemtechnik