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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
 
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1996
Conference Paper
Title

Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)

Author(s)
Grimme, R.
Mainwork
Reine Technologien - Aktuelle Fragen der Reinraumtechnik  
Conference
Tagung Reine Technologien - aktuelle Fragen der Reinraumtechnik 1996  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Fertigung

  • Fertigungskonzept

  • MikroFab

  • Mikrofabrikationstechnik

  • Mikrosystem

  • Mikrosystemtechnik

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