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Konferenzschrift
Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
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1996
Conference Paper
Titel
Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Author(s)
Grimme, R.
Hauptwerk
Reine Technologien - Aktuelle Fragen der Reinraumtechnik
Konferenz
Tagung Reine Technologien - aktuelle Fragen der Reinraumtechnik 1996
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA
Tags
Fertigung
Fertigungskonzept
MikroFab
Mikrofabrikationstechnik
Mikrosystem
Mikrosystemtechnik