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Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)

	VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung: Reine Technologien - Aktuelle Fragen der Reinraumtechnik : Stand der Technik, Anwendungen, technische Regeln ; Tagung Karlsruhe, 7. und 8. Februar 1996 Düsseldorf: VDI Verlag, 1996 (VDI-Berichte 1238) ISBN: 3-18-091238-3 pp.89-97
	Tagung Reine Technologien - aktuelle Fragen der Reinraumtechnik <1996, Karlsruhe>

	German
	Conference Paper
	Fraunhofer IPA ()
	Fertigung; Fertigungskonzept; MikroFab; Mikrofabrikationstechnik; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik