Publica
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Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
:
Grimme, R.
VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung:
Reine Technologien - Aktuelle Fragen der Reinraumtechnik : Stand der Technik, Anwendungen, technische Regeln ; Tagung Karlsruhe, 7. und 8. Februar 1996
Düsseldorf: VDI Verlag, 1996 (VDI-Berichte 1238)
ISBN: 3-18-091238-3
pp.89-97
Tagung Reine Technologien - aktuelle Fragen der Reinraumtechnik <1996, Karlsruhe>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA
(
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Fertigung
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Fertigungskonzept
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MikroFab
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Mikrofabrikationstechnik
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Mikrosystem
;
Mikrosystemtechnik
