Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)

 
: Grimme, R.

VDI-Gesellschaft Technische Gebäudeausrüstung:
Reine Technologien - Aktuelle Fragen der Reinraumtechnik : Stand der Technik, Anwendungen, technische Regeln ; Tagung Karlsruhe, 7. und 8. Februar 1996
Düsseldorf: VDI Verlag, 1996 (VDI-Berichte 1238)
ISBN: 3-18-091238-3
pp.89-97
Tagung Reine Technologien - aktuelle Fragen der Reinraumtechnik <1996, Karlsruhe>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Fertigungskonzept; MikroFab; Mikrofabrikationstechnik; Mikrosystem; Mikrosystemtechnik

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-14203.html