Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen

 
: Schäfer, W.; Grimme, R.; Schünemann, M.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme : 1. Statusseminar am 13.Juni 1995, Stuttgart
Stuttgart, 1995
Statusseminar Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme <1, 1995, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Fertigungskonzept; Mikrosystem

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-14201.html