Abstract
Bei der Fertigung von hochpräzisen Reflexionsflächen werden extreme Anforderungen an die zu erzeugende Oberflächenqualität gestellt. Um eine weitere Qualitätssteigerung dieser Bauteile zu erreichen, ist es jedoch notwendig, auf neuartige Substratmaterialien überzugehen. Dabei kommen insbesondere mikrokristalline und nanokristalline Werkstoffe in Betracht, deren Korngröße selbst bei der Feinstzerspanung wesentlich kleiner als der Spanungsquerschnitt ist. Diese lassen sich zur Zeit jedoch nur in Werkstofflegierungen herstellen, so daß bei der Fertigung von CO2-Laseroptiken, die einer hohen thermischen Belastung ausgesetzt sind, bisher auf polykristalline Substrate zurückgegriffen werden muß. Dagegen können optische Komponenten, bei denen die thermische Belastung keine gravierende Rolle spielt, zur Zeit schon aus mikrokristallinen Substraten und mit gesteigerter Oberflächenqualität gefertigt werden. (IPT)