Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Fabsimulation zur Fertigungssteuerung

 
: Sturm, R.; Frauenhoffer, F.; Treiber, T.

Meissner & Wurst GmbH; Submicron Semiconductor Technologies GmbH; Jenoptik AG, Jena; Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen -IIS-, Erlangen; Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart; Thesys Gesellschaft für Mikroelektronik, Erfurt:
Smart Fabrication Flexible Fab 1998 : Workshop, 25. und 26. Juni 1998 in Tabarz/Thüringen
1998
pp.71-79
Workshop Smart Fabrication Flexible Fab <2, 1998, Tabarz/Thüringen>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Fertigung; Fertigungssteuerung; Halbleiter; simulation; wafer

Abstract
Die Abbildung einer bestehenden Fertigungslinie mit einem Simulationstool stellt eine wichtige Voraussetzung dar, um die Performance einer Waferfertigung in Abhängigkeit von wichtigen Parametern beurteilen und optimieren zu können. Insbesondere das Scheduling von Produktionsaufträgen beinhaltet große Optimierungspotentiale einer bestehenden Halbleiterfertigung. Das operative Verhalten einer Waferfab läßt sich mittels Simulationstechnik auf Basis von Einlastungsdaten näherungsweise bestimmen. In diesem Beitrag soll ein Abriß über die Vorgehensweise der Entwicklung eines Simulationsmodells zur Optimierung einer bestehenden Halbleiterfertigung gegeben werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-13758.html