Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fabrication of relief-topographic surfaces with one-step UV-lithographic

 

:

Microsystem Technologies (1995), No.1, pp.196-201
ISSN: 0946-7076
English
Journal Article
Fraunhofer ISIT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-13706.html