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Entwurfstechnik für monolithisch integrierte Mikrosysteme
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1994
Book Article
Title
Entwurfstechnik für monolithisch integrierte Mikrosysteme
Author(s)
Schnakenberg, U.
Riethmüller, W.
Mainwork
Untersuchungen zum Entwurf von Mikrosystemen. Verbundprojekt 1992-1994. Abschlußbericht
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT
