Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Entwurf von Leitsystemen - Produktionstechnik im Reinraum

 
: Warnecke, H.-J.; Herzog, O.

WT. Produktion und Management 83 (1993), No.2, pp.54-56
ISSN: 0941-2360
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Halbleiter; Industrie; Leitstand; Leitstandsystem; Leittechnik; Reinraum

Abstract
Die europäische Halbleiterindustrie steht heute vor großen Herausforderungen: Das sind der Wettbewerg mit der fernöstlichen Konkurrenz, verschärfte Umweltauflagen und steigende Qualitätsanforderungen. Die Halbleiterproduktion muß daher rationalisiert und aus Qualitätsgründen zunehmend transparent gemacht werden. Zwingend notwendig ist hierzu das informatorische Erfassen und Auswerten der logistischen Daten und der Prozeßdaten.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-12628.html