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1996
Conference Paper
Titel
Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Abstract
Ein wesentliches Hemmnis in der Überführung von mikrosystemtechnischen Prototypen in industriell gefertigte und am Markt erfolgreiche Produkte besteht in der Nichtverfügbarkeit von Fertigungseinrichtungen, die eine flexible, wirtschaftlich effiziente Produktion von Mikrosystemen und Mikrokomponenten in kleineren und mittleren Stückzahlen gestatten. Es wird ein Fertigungskonzept zur industriellen Produktion von Mikrosystemen vorgestellt, das auf einem arbeitsteiligen Prozeß basiert. Der arbeitsteilige Prozeß beinhaltet Systementwurf und Fertigungsplanung durch den Mikrosystemhersteller, Fertigung des informationstechnischen Teils des Mikrosystems durch einen Halbleiterhersteller, Ausführung know-how-tragender Mikrostrukturierungsprozesse durch den Mikrosystemhersteller und Realisierung wenig effizient ausführbarer Mikrostrukturierungsprozesse durch externe technologische Dienstleistungsanbieter.