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Konferenzschrift
Entwicklung neuartiger, durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften - Verbundprojekt
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1995
Conference Paper
Titel
Entwicklung neuartiger, durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften - Verbundprojekt
Author(s)
Goedicke, K.
Metzner, C.
Hötzsch, G.
Hauptwerk
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995
Konferenz
Statusseminar Oberflächen- und Schichttechnologien 1995
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Organische Elektronik, Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP