Elektrostatik im Reinraum

Größere Integrationsdichten bei integrierten Schaltkreisen und kleinere Strukturen bei der Mikrochipherstellung bewirken, daß die Elektrostatik in der Mikroelektronik und in der Halbleiterfertigung an Bedeutung gewinnt. Ausfälle, die durch Elektrostatik entstehen, wirken sich auf die Produktionsausbeute, den Durchsatz oder die Zuverlässigkeit von Produkten und Produktionsumgebung aus. Im vorliegenden Beitrag wird auf die Entstehung und die Auswirkungen von elektrostatischen Aufladungen in Reinräumen eingegangen. Ferner werden Meßmethoden und Modelle vorgestellt, mit denen ein Nachweis bzw. eine Simulation von ESD realisierbar ist. Zum Schluß werden noch verschiedene Lösungsansätze vorgestellt, mit denen eine Kontrolle von elektrostatischer Aufladung möglich ist.