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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Elektrohydrodynamische Mikropumpe für elektromechanische Systeme
 
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1990
Conference Paper
Title

Elektrohydrodynamische Mikropumpe für elektromechanische Systeme

Abstract
Bei der elektrohydrodynamischen (EHD) Pumpe werden Kräfte auf die Flüssigkeit durch die Wechselwirkung zwischen hohen elektrischen Feldern und in die Flüssigkeit injizierte oder bereits vorhandene Ionen erzeugt. Die ionisierten Flüssigkeitsteilchen werden zwischen den Elektroden beschleunigt und führen so durch Impulsübertrag auf die neutralen Teilchen der Flüssigkeit zu einer kontinuierlichen Flüssigkeitsströmung. Es können verschiedene elektrisch isolierende und polare Flüssigkeiten gepumpt werden, etwa deionisiertes Wasser, Isolieröle und organische Lösungsmittel, wie Aceton, Propanol oder Ethanol. Das elektrohydrodynamische Prinzip erfordert im Vergleich zu herkömmlichen Pumpen und Mikropumpen keine bewegten Pumpenteile und führt so zu einem sehr einfachen und verschleißfreien Aufbau bei unkomplizierter Fertigung.
Author(s)
Richter, A.
Mainwork
Fachtagung "Mikrosystemtechnik" zur Messe "electronica"  
Conference
Mikrosystemtechnik 1990  
Language
German
IFT  
Keyword(s)
  • actuator

  • Aktor

  • MEMS

  • micro electro mechanical system

  • micropump

  • mikroelektromechanisches System

  • Mikropumpe

  • Mikrosystemtechnik

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