Fraunhofer-Gesellschaft

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Elektrohydrodynamische Mikropumpe für elektromechanische Systeme

 
: Richter, A.

Fachtagung "Mikrosystemtechnik" zur Messe "electronica"
1990
pp.31-33
Mikrosystemtechnik <1990, München>
German
Conference Paper
Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert
actuator; Aktor; MEMS; micro electro mechanical system; micropump; mikroelektromechanisches System; Mikropumpe; Mikrosystemtechnik

Abstract
Bei der elektrohydrodynamischen (EHD) Pumpe werden Kräfte auf die Flüssigkeit durch die Wechselwirkung zwischen hohen elektrischen Feldern und in die Flüssigkeit injizierte oder bereits vorhandene Ionen erzeugt. Die ionisierten Flüssigkeitsteilchen werden zwischen den Elektroden beschleunigt und führen so durch Impulsübertrag auf die neutralen Teilchen der Flüssigkeit zu einer kontinuierlichen Flüssigkeitsströmung. Es können verschiedene elektrisch isolierende und polare Flüssigkeiten gepumpt werden, etwa deionisiertes Wasser, Isolieröle und organische Lösungsmittel, wie Aceton, Propanol oder Ethanol. Das elektrohydrodynamische Prinzip erfordert im Vergleich zu herkömmlichen Pumpen und Mikropumpen keine bewegten Pumpenteile und führt so zu einem sehr einfachen und verschleißfreien Aufbau bei unkomplizierter Fertigung.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-11786.html